한화·한미 TC본더 '소송전' 격화…"특허 침해" vs "적반하장"

고대역폭메모리(HBM) 반도체 생산에 필수인 후공정 장비 ‘열압착(TC) 본더’를 두고 한화세미텍과 한미반도체의 법적 분쟁이 격화하고 있다. 한화세미텍이 한미반도체를 상대로 TC본더 핵심기술에 대한 특허소송을 제기하자, 한미반도체는 “적반하장”이라며 맞서고 있다.한화...